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      電子級水中國國家標準GB/T 11446.1-2013

      發布時間:2022/8/6      

      電子級水中國國家標準GB/T 11446.1-2013

      電子級水

      1 范圍
      GB/T 11446 的本部分規定了電子級水的級別、技術指標要求、試驗方法和檢測規則。
      本部分使用與電子和半導體工業永高純清洗用水。
      2 規范性引用文件
      下列文件對于本文件的應用是B不K少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修G單)適用于本文件。
      GB/T 11446.3-2013 電子級水測試方法通則
      GB/T 11446.4-2013 電子級水電阻率的測試方法
      GB/T 11446.5-2013 電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法
      GB/T 11446.6-2013 電子級水中二氧化硅的分光光度測試方法
      GB/T 11446.7-2013 電子級水中痕量陰離子的離子色譜測試方法
      GB/T 11446.8-2013 電子級水中總有機碳的測試方法
      GB/T 11446.9-2013 電子級水中微粒的儀器測試方法
      GB/T 11446.10-2013 電子級水細菌總數的濾膜培養測試方法
      3 術語和定義
      下列術語和定義適用于本文件。
      3.1
      電子級水 electronic grade water
      電子和半導體工藝過程中所用的高純水。

      3.2
      電阻率 resistivity
      在規定溫度下,1cm3(正立方體)水溶液兩相對面之間測得的電阻值。通常用符號ρ表示,單位為歐姆厘米(Ω·cm),純水的理論電阻率為18.3MΩ·cm(25℃)。
      3.3
      全硅 total silicon
      水中可溶性硅和以二氧化硅膠體狀態存在的硅的總量。
      3.4
      可溶性硅 soluble silicon
      以單一分子狀態存在于水中的溶解性硅酸鹽。
      3.5
      微粒性物質 granular matter
      除氣體外,以非液體分散在水中,并形成非均相混合物的物質。
      3.6
      總有機碳 total organic carbon;TOC
      水中以各種有機物形式存在的碳的總量。包括易被一般強氧化劑氧化的有機物和需用特殊方法氧化的有機物。
      3.7
      吸附 absorption
      某些多孔性粒狀物質由于表面活性作用而具有吸著某些物質的現象。
      3.8
      凝聚 coagulation
      在源水中加入某種電解質后,水中帶有電荷的膠體微粒被電解質中的異種電荷中和,從而使其聚集成較大顆粒而沉降的現象。
      3.9
      絮凝 flocculation
      水中的微粒在一定條件下相互碰撞而集結為絮狀沉淀的現象。絮凝一般是再凝聚作用后緩慢進行,可除去水中更細的微粒。
      3.10
      砂濾器 sand filter
      用于盛放不同直徑的砂粒,以除去源水中懸浮固體和渾濁物的裝置。
      3.11
      活性碳過濾器 activated carbon filter
      裝有粒狀活性碳的過濾器,用于除去水中的可溶性有機物和過量的殘余氯。
      3.12
      離子交換 ion exchange
      一種不溶性物質與一種液體之間相互交換離子的可逆過程,該過程中物質并無實質性結構變化。
      3.13
      離子交換樹脂 ion-exchange resin
      一種合成的有機離子交換材料。
      3.14
      去離子水 deionized water
      經過離子交換處理,除去了呈離子形式的雜質的高純水
      3.15
      再生 regeneration
      離子交換過程操作循環中的一部分。在該部分中,用一定量的化學試劑通過離子交換樹脂使其恢復交換能力。
      3.16
      復合床 complex bed
      將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂分別裝入兩個離子交換柱中,將兩柱串聯,使水依次通過兩個柱而被純化。
      3.17
      混合床 mixed bed
      將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂混合均勻,填充于同一離子交換柱中,其純化效果相當于許多復合床串聯使用。
      3.18
      電滲析 electrodialysis
      一種分離水中離子的方法。在電滲析器中,陰陽兩極之間用交替排列的陰、陽離子交換膜分割成一系列小室。水流通過小室時,在電流電場作用下,水中陽離子向陰極方向移動,但不能通過陽膜;陰離子則相反。這樣就形成相間存在的濃、淡水室而達到提純水的目的。
      3.19
      逆向滲透 reverse osmosis
      用半透膜將濃水和淡水隔開,并在弄水上施加比滲透壓更強的機械壓力,則濃水中大部分水透過半透膜而雜質仍留在其中,達到分離提純的目的。
      3.20
      反滲透膜 reverse osmosis membrane
      用于反滲透法制備純水的一種合成薄膜,其孔徑一般為0.02μm或更小,可用于除去無機離子、有機物、細菌等,使水純化。
      3.21
      微孔膜濾器 membrane filter
      一種平均孔徑(直徑)大于0.01μm的薄膜,能把大于平均孔徑的微粒截留在其表面或附近。
      3.22
      超過濾 ultrafiltration
      一種過濾方法,在一定壓力下使水流過超濾膜以除去水中的極細微粒、膠體和細菌等。
      3.23
      終端 terminal
      高純水生產流程中經過各道凈化工藝后,水的出口或使用地點。
      3.24
      無菌 sterile
      不含任何活有機體(不論是活躍的或休眠的)。
      3.25
      PH
      水溶液中氫離子活度的負對數或氫氧根離子活度倒數的負對數。
      4 分類和標記
      4.1 分類
      電子級水分為四個級別:Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級、Ⅳ級。
      4.2 標記
      Ⅰ級電子級水標記為:EW-Ⅰ。
      Ⅱ級電子級水標記為:EW-Ⅱ。
      Ⅲ級電子級水標記為:EW-Ⅲ。
      Ⅳ級電子級水標記為:EW-Ⅳ。
      5 要求
      電子級水的技術指標應符合表1規定。
      表1 電子級水的技術指標

      項目

      技術指標

      EW-Ⅰ

      EW-Ⅱ

      EW-Ⅲ

      EW-Ⅳ

      電阻率(25℃)/MΩ·cm

      ≥18
      (5%時間不低于17)

      ≥15
      (5%時間不低于13)

      ≥12

      ≥0.5

      全硅/(μg/L)

      ≤2

      ≤10

      ≤50

      ≤1000

      微粒數/
      (個/L)

      0.05μm~0.1μm

      500

      -

      -

      -

      0.1μm~0.2μm

      300

      -

      -

      -

      0.2μm~0.3μm

      50

      -

      -

      -

      0.3μm~0.5μm

      20

      -

      -

      -

      >0.5μm

      4

      -

      -

      -

      細菌個數/(個/mL)

      ≤0.01

      ≤0.1

      ≤10

      ≤100

      銅/(μg/L)

      ≤0.2

      ≤1

      ≤2

      ≤500

      鋅/(μg/L)

      ≤0.2

      ≤1

      ≤5

      ≤500

      鎳/(μg/L)

      ≤0.1

      ≤1

      ≤2

      ≤500

      鈉/(μg/L)

      ≤0.5

      ≤2

      ≤5

      ≤1000

      鉀/(μg/L)

      ≤0.5

      ≤2

      ≤5

      ≤500

      鐵/(μg/L)

      ≤0.1

      -

      -

      -

      鉛/(μg/L)

      ≤0.1

      -

      -

      -

      氟/(μg/L)

      ≤1

      -

      -

      -

      氯/(μg/L)

      ≤1

      ≤1

      ≤10

      ≤1000

      亞硝酸根/(μg/L)

      ≤1

      -

      -

      -

      溴/(μg/L)

      ≤1

      -

      -

      -

      硝酸根/(μg/L)

      ≤1

      ≤1

      ≤5

      ≤500

      磷酸根/(μg/L)

      ≤1

      ≤1

      ≤5

      ≤500

       
      6 試驗方法
      6.1 電阻率
      電子級水的電阻率按GB/T 11446.4-013進行測定。
      6.2 全硅含量(以二氧化硅計)
      電子級水全硅(以二氧化硅計)含量按GB/T 11446.6-2013進行測定。
      6.3 微粒數
      電子級水中微粒數按GB/T 11446.9-2013進行測定。
      6.4 細菌總數
      電子級水中細菌總數按GB/T 11446.10-2013進行測定。

      6.5 痕量金屬含量
      電子級水中痕量金屬的含量按GB/T 11446.5-2013進行測定。
       6.6 氟離子、氯離子、亞硝酸根離子、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量
      電子級水中氟離子、氯離子、亞硝酸根離子、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量按GB/T 11446.7-2013進行測定。
      6.7 總有機碳含量
      電子級水中總有機碳含量按GB/T 11446.8-2013進行測定。
      7 檢驗規則
      7.1檢驗部門
      電子級水的檢驗均應在有資質的檢驗部門進行。
      7.2 檢驗分類
      電子級水的檢驗分為交收檢驗和例行檢驗。
      7.3交收檢驗
      7.3.1 抽驗項目
      電子級水中電阻率、鈉離子、全硅(以二氧化硅計)為交收檢驗項目。
      7.3.2 合格判據
      在用水終端采樣,檢驗后檢驗結果如有一項或一項以上不合格時,應再次采樣經行檢驗,如仍不合格,則該批不合格,應提出改進措施直到水質合格。
      7.4 例行檢驗(全檢項目)
      7.4.1 檢驗項目
      檢驗項目為表1規定的全部項目。檢驗順序應以不影響后序實驗結果的原則進行檢驗。
      7.4.2 不合格判定
      在用水終端采樣后進行例行檢驗,檢驗結果如有不合格項時,應再次采樣進行檢驗,如仍有不合格項時,應提出改進措施直到水質合格。
      7.4.3 檢驗頻次
      例行檢驗至少每年進行一次,當制水條件發生變更時也應進行例行檢驗。
      8 采樣、貯存、運輸及標志
      8.1采樣、貯存、運輸
      電子級水的采樣、貯存、運輸應符合GB/T 11446.3-2013的規定。
      8.2 標志
      在用水終端采樣進行檢驗時,水質合格后應附有檢驗合格證,合格證應包含如下內容:

      名稱及級別;

      各項技術指標;

      制水單位;

      供水日期;

      檢驗員簽章及檢驗日期。

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